Yuqori bosqichli HDI deganda 2 darajadan yuqori darajadagi HDI elektron platasi, odatda 3 + N + 3 yoki 4 + N + 4 yoki 5 + N + 5 tuzilishi tushuniladi. Ko'r teshik lazerdan foydalanadi va misning teshigi taxminan 15UM ni tashkil etadi. Quyidagi 18 qavatli 3 bosqichli HDI elektron platasi bilan bog'liq, men sizga 18 qatlamli 3 bosqichli HDI elektron platasini yaxshiroq tushunishingizga yordam beradi deb umid qilaman.
